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Zeiss und Trumpf erhalten Deutschen Zukunftspreis 2020

27.11.2020 – Auszeichnung für innovative Lithographie-Geräte

Die Unternehmen Zeiss in Oberkochen und Trumpf in Ditzingen wurden mit dem Deutschen Zukunftspreis 2020 des Bundespräsidenten ausgezeichnet.

Das Team hat einen wesentlichen Beitrag zur Entwicklung einer Technologie geleistet, mit der sich mikroelektronische Bauteile mit äußerst feinen Strukturen fertigen lassen. Durch die Nutzung von Licht im extremen Ultraviolett (EUV) haben die Wissenschaftler die in der Chipfertigung etablierte Methode der optischen Lithographie auf eine neue Stufe gebracht. Entstanden ist ein optisches System aus Spiegeln mit einer besonderen Beschichtung. Ein weiterer Bestandteil ist der derzeit stärkste industrielle CO2–Laser, mit dem das Plasma für die EUV-Strahlung erzeugt wird.

Neue Anwendungen der Informationstechnik und Systeme mit künstlicher Intelligenz erzeugen immer mehr Daten, die gleichzeitig immer schneller verarbeitet werden müssen. Hierfür sind Mikrochips erforderlich, deren Leistungsfähigkeit weit über das bisher Mögliche hinausreicht – und die sich mit herkömmlicher Technik nicht herstellen lassen. Diese Hürde haben die Preisträger zusammen mit ihren Partnern überwunden. Mit der Entwicklung der EUV-Lithographie – einer innovativen Technologie, die auf extrem ultraviolettem Licht beziehungsweise Licht mit einer extrem kurzen Wellenlänge basiert – sind die Unternehmen auf dem Weltmarkt für Lithographie-Geräte führend.

Weitere Informationen auf der Website des Deutschen Zukunftspreis und des Wirtschaftsministeriums Baden-Württemberg.

DER REGIONAUT IST NOCH IN DER LERNPHASE